Re: [問卦] 台積電2nmGAA結構怎麽判斷良率？

MeiHS 02/03 19:06沒有其他非破壞性檢測？

mastoid 02/03 19:07x光破壞結構？ 是多強能量的x 光？

mastoid 02/03 19:08x光的問題是解析度

mastoid 02/03 19:31以光電效應來說 起始能量要非常高 才能

mastoid 02/03 19:31改變結構打出外層電子 你要改變原子結構

mastoid 02/03 19:31一般外能本做不到 大型加速器或許有機會

mastoid 02/03 19:31吧

mastoid 02/03 19:35x光的解析度跟能量跟雜訊都是相關函數，

mastoid 02/03 19:35不是想當然爾說看的到就看的到的，需要

mastoid 02/03 19:36很多實驗才能確認。

MeiHS 02/03 19:39透明材,GaN吧? 電測可能就通電試性能

MeiHS 02/03 19:40但是要確認微觀以下的defect可能還不夠?

hcwang1126 02/03 21:20X光檢驗的問題是作業員要怕吧 之前驗

hcwang1126 02/03 21:20機 業務還帶鉛板去

h321123aa 02/03 21:28二樓，你不知道光子本身能量太高會讓整

h321123aa 02/03 21:28個奈米結構變掉嗎？不然台積找同步輻射

h321123aa 02/03 21:28中心幫忙檢驗為了什麼

Mood10207 02/03 21:36大家都好專業

chris44099 02/03 21:40八卦版平均年薪300萬不是豪洨的==怕

kamitengo 02/03 23:06上面的別傻了，一堆先進封裝的出貨都

kamitengo 02/03 23:06會scan x-ray。dram，hbm要特調不然會

kamitengo 02/03 23:06damage

kamitengo 02/03 23:08然後大家仔细看影片吧，裡面講的主要

kamitengo 02/03 23:08是cd量測。不是defect scan，估計是cd

kamitengo 02/03 23:08-saxs

kamitengo 02/03 23:08https://bit.ly/3HyYZcT

mastoid 02/04 01:44但是一般不會用到那麼高能的光子帶來做

mastoid 02/04 01:44檢測阿 找同步輻射中心是為了提高解析度

mastoid 02/04 01:44 並不是能量太高阿

mastoid 02/04 01:46夠高能的光子 連原子核都可以打爆 但沒

mastoid 02/04 01:46人用這個來做scan

Replly 02/04 17:00電性測試區都做在切割道 不佔空間啊