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[請益] 乾蝕刻製程

banana321 發表於 2023/10/24 下午3:49:00
看板Tech_Job標題[請益] 乾蝕刻製程作者
banana321
 ()時間推噓21 推:22 噓:1 →:28

今天有去面試某“晶圓重生”的公司職缺，主管介紹他們是乾蝕刻，其中有用到HF氣體，
因為她說她機台有半自動，晶圓蝕刻完，腔體會purge 乾淨，用夾具把晶圓夾出，只要不要亂摸蝕刻完晶圓片，就不會有腐蝕危險，因為她說不用穿防護裝（帶手套護目鏡就好），所以我問一下各位意見

謝謝

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※ PTT留言評論
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 125.224.80.114 (臺灣)
※ PTT 網址
推

a1379 10/24 15:55所以就是表面還是有HF的意思嗎...

可能會有

推

doverdover 10/24 15:58依照法令，確實不用穿防護衣沒錯

如果腔體可以purge乾淨，不會洩漏，我是不怕，反正要戴手套夾晶片

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:01:21
推

Yishanhuang 10/24 16:09氣體可以完全purge乾淨的話，ALD就沒用啦

→

Yishanhuang 10/24 16:10wafer表面還是會附著，不能直接摸

請問要戴那種手套？乳膠？耐酸鹼手套？

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:20:32
推

ccccccrex 10/24 16:42絕對不會purge乾淨,看過etch設備開chamber都要戴

→

ccccccrex 10/24 16:43豬鼻子

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VSshow 10/24 16:44看來你不懂HF多屌喔！

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VSshow 10/24 16:45記得保險保好保滿，然後絕對要照公司規定，免得你發

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VSshow 10/24 16:45生工安意外公司可以逃避責任

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VSshow 10/24 16:47這主管也腦，乾淨=0 這種話敢講

因為我是有點懷疑，我知道HF的威力，會死人的，因為晶圓片上會有，那麼腔體就會有。

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:49:04 ※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:50:04

請問有手動夾晶片的？如果腔體是再chamber內，有防護，應該是ok的。 如果要開chamber，不用穿防護衣嗎？

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:00:45
推

yellow3621 10/24 17:20機台沒有robot夾到foup裡面？

他們目前手動機台，試製轉量產中

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:30:34

因為蝕刻完晶片，還要夾出來，那不就是要開腔體嗎？這樣不是HF會跑出來，而且還要目 檢（我不知道目檢那關的晶片到底是否有洗過了）

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:32:33
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sc1 10/24 17:55HF放心 聞到會讓你重生重新投胎 做溫拿 不會上電視

推

Madao0149 10/24 17:56應該要inline 接到wet clean完再拿才對吧

推

Madao0149 10/24 17:58如果這樣可以直接拿我也是醉

他可能流程講的沒有很完整吧，不過如果有wet clean，那就沒有HF。

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 18:03:43
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bnn 10/24 18:22手動操作機械臂送到cassette吧

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bnn 10/24 18:22為啥你會需要開腔體 有loading chamber和working

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bnn 10/24 18:25不過學校級無塵室purge完鑷子去夾 聽起來好像正常

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bnn 10/24 18:26purge反正都是多個cycle 其實都是ppm^n次 看設定

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bnn 10/24 18:29然後對於這個 防護衣沒用 它是氣體 不是防潑灑

我不確定是自己夾嗎？因為他說要帶手套啊

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 18:52:40
推

yellow3621 10/24 18:57反正就戴個兩層手套，熱一點總比灼傷好

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banana321 10/24 19:02總比骨頭被吃掉

推

popileds 10/24 19:05要帶防毒面具，不然健檢你就知道

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popileds 10/24 19:05一堆人都是中毒

如果有進去工作，如果真的需要開腔體拿晶圓片，我在跟他們要mask。

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 19:10:59
推

ian41360 10/24 19:24purge可以乾淨，設備PM就不用全副武裝了

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ll223344556610/24 19:59重新找吧

噓

ijk1 10/24 20:12溼蝕刻比較爽 也有HF 只是是液體 給你參考

推

ccc0950467 10/24 20:14命比較重要

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WilliamLFY 10/24 20:19一堆人拿命去賠都還不知道老闆在後面數錢

不過他說他們HF用量非常少，一小罐用一年

※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 20:28:23
推

VSshow 10/24 21:19跟HF有關的薪水也沒多高，勸你沒選擇再去然後準備找

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VSshow 10/24 21:19下一份

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VSshow 10/24 21:20一小罐，微量就讓你掰了

目前真的沒選擇，不過也要等收到錄取通知才能去

推

jason138 10/24 23:12遠離蝕刻、黃光

推

kyle5241 10/24 23:36以前在實驗室用glove box 加雙層手套

推

yfs956423 10/25 00:40老鐵你真敢

推

CHEAT1069 10/25 00:43他說的都是理想情況

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uranus99 10/25 01:23這種東西少量更恐怖，等你有感時可能已經沒救了

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uranus99 10/25 01:24看薪水吧，如果錢真的很多願意做，自己要保護好就行

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MUMUKON 10/25 02:16進去就知道了啦 cl的說都會purge 每次打開都是消毒

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MUMUKON 10/25 02:16水味道真香

※ 編輯: banana321 (125.224.83.112 臺灣), 10/25/2023 06:59:00
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sc1 10/25 08:40yahoo說蝕刻工作機會很多給這個科系出路超廣

推

snoopy79042810/25 14:22沒地震破片摸晶圓幹嘛

推

mininakai 10/25 15:32設備？製程？我進半導體之後已經很久沒碰HF了

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lockin 10/25 15:49半導體製程會接觸到HF?見鬼嗎?都有管線怎麼會接觸

dry etch, rebirth，這塊設備我沒有很熟，所以他說的我有點模糊

※ 編輯: banana321 (125.224.83.112 臺灣), 10/25/2023 16:45:32
推

knowlife 10/25 17:03生命無價，HF化骨水超毒

※ 編輯: banana321 (125.224.83.112 臺灣), 10/25/2023 18:19:56
推

zames0625 10/25 19:21笑死 這麼安全簡單 那他怎麼不自己去做 這種接觸到

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zames0625 10/25 19:21的風險很大啦 不要傻傻的去

推

ttosgion 10/25 20:20別當前段 那是用生命換錢

找不到工作..？

※ 編輯: banana321 (125.224.75.35 臺灣), 10/26/2023 07:37:00
推

seisai 10/26 10:29生命無價

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sc1 10/26 15:25ˇ這個系的出入很廣 請好好把握HF 發光發熱

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Bansar 10/27 00:42看部門前輩的體檢報告就知道了

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wzmildf 10/27 11:18這什麼垃圾設備和製程

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