[請益] PVD設備 濺鍍 材質限制

pinkowa03/09 00:041.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。

wzmildf03/09 00:09自己的功課自己做

johnyson03/09 00:27以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單

johnyson03/09 00:27更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能

johnyson03/09 00:27量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與

johnyson03/09 00:27氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些

johnyson03/09 00:27細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設

johnyson03/09 00:27備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難

johnyson03/09 00:27有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，

johnyson03/09 00:27除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費

johnyson03/09 00:27用起碼也要找second source的廠商去評估吧！

jim54300003/09 01:47你不會把target裝上去試嗎？

jim54300003/09 01:49會怕還敢買機器自己retrofit

cxzdsa03/09 05:38真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。

Mysex03/09 07:18自己的專案自己做

tseng41312103/09 08:43你肯定沒念過研究所

x08094492403/09 08:44自己不會試試看？

vdfoty03/09 09:14大一生？

avgirl03/09 12:04484你公司老闆又在異想天開惹? QQ

douge03/09 12:57可以

hyenhan03/09 17:57可以啦

hyenhan03/09 18:00看是反應式濺鍍還是icp的

hyenhan03/09 18:01遲滯曲線抓一下

Ensoul03/09 20:30花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎

Keelungman03/09 23:10DC? RF?

allen869403/09 23:35是在反串？！