[心得] 半導體製程整合心得

skysleep 發表於 2022/2/2 上午11:56:09

看板Tech_Job標題[心得] 半導體製程整合心得作者

(知易型男)時間Feb 2 11:56:09 2022推噓爆推:190 噓:6 →:43

由於小弟在Fab也做了幾年製程整合，這邊整理一下製程整合會碰到，而且需要具備
的相關知識心得。希望可以對想要進入或剛進入製程整合的新人有所幫助~

如果有誤，再麻煩指正，感謝~

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首先，整個半導體產業最終的目的就是做出可以運算/感測/放大...各種訊號的晶片，所以一定要記得，Fab做出來的東西是要通電的。有很多做製程的工程師，做到最後對製程很熟悉，但是卻不知道為什麼要這麼做

(Ex:為什麼要HKMG? 為甚麼要contact下面一定要重參雜? 為什麼poly也要打IMP?)

我們可以先看下面這張電路階層圖，這張圖由下到上展現了從元件開發到電路設計的關係，從最下面的MOS/電阻/電感...到上面的邏輯閘，再到最後設計出的電路功能。

https://imgur.com/ad1HQIV

這張圖中展示了Fab和豬屎屋之間的關係，Fab是Bottom up來看電路，主要負責各種Device特性開發，例如:MOS/Cap/電阻/電容...。而其中就牽涉到半導體元件，製程，量子物理，光學，化學...等等基礎科學。

另一方面，豬屎屋則是Top down來看電路，從一開始晶片應用領域(是CIS，HPC，還是高壓電路?)，到電路設計/模擬...，主要需要熟悉電子電路，數位，類比，計算機...。

而其中，PDK就扮演了溝通橋梁，PDK內含的平台文件就可以讓Designer知道，各種電子元件會出現的Performance，並且進行模擬/設計。而PDK也會讓製程整合知道，製程
Spec該如何制定卡控。

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而從製程平台的角度來看，可以分成幾個階段
https://imgur.com/cre4aqz

1. 製程平台開發
主要由TD或RD執行，這階段需要了解客戶會用到甚麼樣的元件，操作電壓，漏電大小，SOA...，並且搭配場內製程，來開發元件。而有了基本的製程flow，就可以實際跑實驗
Lot，撒split條件，確認有沒有打到目標。

實驗Lot跑完了，就可以準備做model，這時就要提供Si data給model team，生出SPICEmodel，也要制定電性 spec，最後才能送Qual驗證可靠度

而其中也牽涉到IP驗證，IP需要在廠內製程Run過之後，才能實際送給IP house驗證，避免因製程差異而function異常。

2. 製程平台改良
主要由TD執行，平台OK之後，客戶才會下單NTO，而過程中製程整合需要做窗口，不管是DRC有問題，產能時程問題，各式各樣的問題都要回答客戶。

而初期Pi-run，需要確認各項製程Window足夠，有了製程Window才有電性Window，最後才有良率Window

3. 製程平台量產
初期Pi-run結束後，到一定量，就會轉量產，量產就會專門做製程改善，Inline Cpk改善，抓commom tool，產能改善...

https://imgur.com/Pl9qP2K
https://imgur.com/Suqou1k
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老實說，製程整合在Fab真的需要蠻長的訓練期，1~2年可能都還是新人，做不出什麼貢獻，畢竟初期光是要把製程和電性關係了解，就要花很多時間。所以一開始都在帶Lot。

而製程和電性關係了解之後，才可能去調動製程條件，把電性做調整。而這一切的核心其實還是半導體元件物理，真的建議找本課本，或開放式課程看看。

製程整合在Fab需要接觸很多面向，幾乎甚麼事情都會變成整合要做Owner
(Ex:
產品Low yield --> 整合找module 討論root cause
Device Qual不過--> 整合找Q 討論root cause
Pi-run交期太慢 --> 整合找生管幫忙)

所以整合常常要做溝通橋梁，一邊是客戶，一邊是廠內Module，很需要溝通技巧，合作能力

而接觸面廣，有好處也有壞處。整合可能是process懂一點，Model懂一點，Device懂一點，良率分析懂一點，Qual懂一點...。但反過來說，也是因為什麼都要碰所以也才能與豬屎屋溝通，所以也有人之後就跳去客戶端發展。

※ PTT留言評論

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 123.192.92.5 (臺灣)

※ PTT 網址

推

cavabien 02/02 12:01推

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convington 02/02 12:01推，讓人好瞭解

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lumi9523232102/02 12:02推，給予新人一份不錯的觀念

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lucier 02/02 12:06推，熱心分享

推

amethystboy 02/02 12:11推專業

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KITAN 02/02 12:15推薦

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gigi0316 02/02 12:16推

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Monstervc 02/02 12:19推

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lifeopt 02/02 12:23推，超級專業分享受益良多

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qwe080969 02/02 12:26推

推

reworkgg 02/02 12:28通常撐不過帶lot就陣亡了

推

MrWTF 02/02 12:29推

推

tureordare 02/02 12:32專業好文

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Druddigon 02/02 12:34謝謝

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LLSGG 02/02 12:36優文

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test100fen 02/02 12:40謝謝分享

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thumba87295 02/02 12:41好人推一個，內文不錯

推

Ben54743 02/02 12:41不錯喔

推

a48814 02/02 12:42推，寫的很棒

推

alfinhuang 02/02 12:45推，簡單明瞭

推

NCKUchoume 02/02 12:46要接觸的多倍嗨賴的也多…

推

ts05593818 02/02 12:47讚讚

推

james582 02/02 12:55U質文

推

motheregg 02/02 12:56推

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TWandy 02/02 13:03大推，難得的優質文

→

IANDRUMMANIA02/02 13:03好文，不過各公司跟部門管理的文化才是重點。

推

Bob101301 02/02 13:03感謝分享

推

Gasolsister 02/02 13:04推

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yellone741 02/02 13:11推推很好的心得文

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hankower 02/02 13:14U文推

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LeeChase 02/02 13:15新年優文

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horb 02/02 13:15優文

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suckKobe 02/02 13:16推佛心解說

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hardlife 02/02 13:17推受益良多

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elesterknigh02/02 13:24推

推

godnnn 02/02 13:26整合知道很廣，但卻也什麼都不懂

推

tthtt60018 02/02 13:27U文

推

godnnn 02/02 13:29整合的技能只需要excel 跟PPT

推

KurakiMaki 02/02 13:30好文

推

dumbdragon 02/02 13:30推

推

kawour 02/02 13:36推佛心解說

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iwaitforyou 02/02 13:36推，謝謝分享

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alway70345 02/02 13:37推

推

neseddy 02/02 13:41推

推

LeoYuri 02/02 13:43推謝謝

推

ian41360 02/02 13:43EDA拉出來有correnation plz PE check

推

csn0071 02/02 13:44推

推

Xifer 02/02 13:45雖然都是產線三寶，不過打的算詳細

推

soulout 02/02 13:45你懂製程

推

kbdhsiao 02/02 13:45謝謝您的分享

推

rex00125 02/02 13:51推

推

hans2003 02/02 13:52推～用心

推

cloud6732 02/02 13:52優質文給推~~~

推

naxe 02/02 13:57推，熱心分享

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shrv123 02/02 13:57推

推

zzyzx 02/02 14:03接觸的東西太多要每個學到精很困難

推

eric6210 02/02 14:13每個都碰一點真打雜工

推

kelly16 02/02 14:26推優質文

推

wenroujason 02/02 14:27對新人很有幫助，觀念正確，推

推

wayneh1556 02/02 14:27推

→

ijk1 02/02 14:28GG PID: 你在說什麼？我只知道帶貨、ppt、excel跟H

→

ijk1 02/02 14:28L module

推

ntscmeiho 02/02 14:32非常精準

推

wayneshih 02/02 14:34用心

推

ming5566 02/02 14:40gg pid: 我只會od loop

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ming5566 02/02 14:41蝦咪係NTO?

推

qwe806016 02/02 14:42推認真！

→

Dgpt 02/02 14:45笑死，L/Y 找媽久討論這種話你們說的出來喔，不都

→

Dgpt 02/02 14:45馬是HL製程跟設備，叫他們生report出來給你們抄著

→

Dgpt 02/02 14:45看

推

godrainbow 02/02 14:47真的很用心，我對應的整合窗口只會裝逼把自己當小主

→

godrainbow 02/02 14:47管派工，問題一問三不知，查了一下還發現不少菜鳥，

→

godrainbow 02/02 14:47我都想嗨賴他父母查一下他們家小孩到底有什麼問題要

→

godrainbow 02/02 14:47好好改善一下不要出來害人

推

lolpklol097502/02 14:49U 質

推

jimjiang 02/02 14:50推，兩年心得真的是這樣

推

ppc0515 02/02 14:51推

推

Incentive 02/02 15:06推分享

→

bbdd203 02/02 15:20有時候蠻多module再靠邀整合只會HL 但是當有機會給

→

bbdd203 02/02 15:20他們到整合嘗試時卻又退縮不說話各位子都有自己

→

bbdd203 02/02 15:20的苦衷推文沒必要酸酸

推

h816090 02/02 15:21強者推

推

den7 02/02 15:23讚讚

推

accle790523102/02 15:33優質

推

lopiuytio 02/02 15:34真神人

推

jpadesky 02/02 15:34謝謝分享

推

kevinfisher 02/02 15:35優文給推，不過GG分工真的太細了，很多人就算做了

→

kevinfisher 02/02 15:35兩三年還是只會帶貨跟查inline

推

unmolk 02/02 15:59推

推

yuki166618 02/02 16:02推，優文

推

mile022 02/02 16:02整合很容易可以做出價值也很多人可以做到人人嫌

推

jerboaa 02/02 16:05推

推

j821005 02/02 16:16不懂這些的資深整合到處都是

→

j821005 02/02 16:17看電子學開放課程跟施敏的書就可以了解七八成了吧

推

rootAtaabu 02/02 16:24推

推

wj94ce0y0 02/02 16:28U

推

kerorogunso 02/02 16:28推清楚明瞭

推

r833123 02/02 16:40推多講一點啊

推

soneyoona 02/02 16:47推推

推

Stan6003 02/02 16:55推

推

leo255112 02/02 16:57訓練期很長是真的感覺前三年都還是跟廢物沒兩樣

推

ass0611ass 02/02 17:08好文推推

推

willhotmail 02/02 17:14謝謝分享

推

aa3104 02/02 17:16推

推

TCross2 02/02 17:16推推

推

crayon56 02/02 17:22優文推推

推

qwe080969 02/02 18:01何止兩三年多的是待到5年以上還是跟廢物一樣 GG分

→

qwe080969 02/02 18:01工太細加上強大的系統什麼都不懂的人也是可以生存

推

homepark 02/02 18:03優文給推

推

andy7829 02/02 18:07推

推

jkasc28s 02/02 18:14excel ppt 搓湯圓這三個精通包整合路順遂

推

llltt123 02/02 18:25整合不是追in-line shift跟pi run 時程麻..........

推

s011045 02/02 18:55推

推

kennetharies02/02 19:09推

推

aj30432000 02/02 19:15好文好文

→

jimmy6247 02/02 19:25整合是溝通橋樑，但通常整合的橋樑都是斷的，跟客戶

→

jimmy6247 02/02 19:25起爭執、跟製程起爭執、跟Q、跟製造部都會起爭執，

→

jimmy6247 02/02 19:25上手之前要記得先學會彎腰求人幫做事

推

edward85100302/02 19:25美光的整合大概也是這樣嗎

推

flysonics 02/02 19:29看到這篇我也想在版上寫一些乾貨幫助新人了來準

→

flysonics 02/02 19:29備準備

噓

pc0207119 02/02 19:36可以不要只懂一點就亂開槍嗎

推

jjfly3360 02/02 19:40讚！

推

contaminate 02/02 19:45good

推

shao870605 02/02 19:48推

推

Janeee 02/02 19:52推佛心

推

tyl 02/02 19:54推，寫得淺顯易懂！

推

tr6271bf 02/02 19:54大推好文，漲知識了。

推

luyixiang 02/02 19:58推推

推

zch222520 02/02 20:09Low yield這關，雞巴的客戶就殺了不少人

推

totalbspark 02/02 20:11不是EE背景的真的要熬一段時間

推

mile022 02/02 20:26板上不是都說EE進整合是頭殼裝屎事實上固態組走這

→

mile022 02/02 20:26條路是不錯的

推

Ryan5678 02/02 20:27太優質了

推

dreamcat092502/02 20:47優質推

推

mile022 02/02 20:48後續周遭不少朋友往客戶端甚至foundry marketing

→

mile022 02/02 20:49TD工程還有 device 都有出路廣是不可否認的

推

littlelinsyu02/02 20:49淺顯易懂

推

CCP4 02/02 20:56推

推

Asher077 02/02 21:08推

推

asdg62558 02/02 21:08推

推

bigwhite327 02/02 21:19可以不要一直造成線上loading嗎

推

Trulli 02/02 21:21推

推

zhangc1010 02/02 21:21推

噓

mahament 02/02 21:41唬爛喔 low yield不就怪module 就好

推

mile022 02/02 22:15樓上那種心態出問題也只會怪機台正常

推

winer2794 02/02 22:24好文

→

willko 02/02 22:33推公司太多87整合

推

verming1 02/02 22:41謝謝分享

推

johnny8510 02/02 22:55推感謝大大分享！

推

wqa98765 02/02 22:59推

推

KasperTW 02/02 22:59待過整合，看完沒啥幫助…但推一下

推

raya61305 02/02 23:08寫得蠻完整不過如果完全沒做過的也看不懂

推

nightben 02/02 23:10推好文

推

isco 02/02 23:14整合很缺人齁？

推

sqt 02/02 23:18好強，謝謝分享

推

TCross2 02/02 23:43真的強者整合，那些repot 打開媽久都不敢講話，趕

→

TCross2 02/02 23:43快team敲大小leader一起查case

→

TCross2 02/02 23:44但真的也很多摸魚整合在那邊降低水準，整合真的是上

→

TCross2 02/02 23:44下限很高的職位

推

chariot825 02/02 23:48沒看過比這篇更好的文章，謝謝分享

推

margaret637602/03 00:09推

噓

orange0319 02/03 00:15PEI 嗨賴製程設備，要生報告和掛機限把機台限縮，所

→

orange0319 02/03 00:15以製造部可過機台少堆貨產能過不去，又再說這是什麼

→

orange0319 02/03 00:15重要客戶還是廠長的LOT要先過，都給你們整合說就飽

→

orange0319 02/03 00:15了啊

推

orange0319 02/03 00:21而且也可能整合關機限的時候不說一聲，發現變slow l

→

orange0319 02/03 00:21ot才發現被限到沒機台可過，要是再搭配Q-time真的不

→

orange0319 02/03 00:21要怪線上整天call out當站整合

→

pinkjenny 02/03 00:32poly不一定會打imp吧

噓

pinkjenny 02/03 00:35果然不是GG的PID...

推

raya61305 02/03 00:37很明顯U帶N28的吧

推

Sanosuki 02/03 00:50推

推

a123457 02/03 00:59推噢

推

lanndydanny 02/03 01:13推

推

chyuan86520 02/03 01:14推

推

bolee 02/03 01:34推

推

russellluo 02/03 02:56優質

推

Cinderella 02/03 02:56其實這篇寫得蠻好的

推

chinchingwei02/03 03:42推

推

ma430201 02/03 04:14好文推推

推

adrian2266 02/03 06:58先推

推

rizman28 02/03 07:16感謝

推

umpwn 02/03 07:50熱心推

推

skyless 02/03 09:00祝樓主一生平安

推

neat875 02/03 09:18有記憶體整合心得嗎

推

black82465 02/03 09:20這個優

推

kr78963212 02/03 09:31優質文幫推

推

mile022 02/03 09:48T的28也是全段某人不要自己不知道就這樣

推

rosty 02/03 09:48推

推

seaice 02/03 10:58樓主好人一生平安

推

kenscopen 02/03 12:08優質好文推推

推

jeff830603 02/03 12:15推推謝謝大大

推

kevinfisher 02/03 12:35N28的HKMG, PO確實不用打IMP吧

推

slg 02/03 12:51整合出路很廣的，是個好的工作選擇

推

LeoPan 02/03 12:53推，感謝分享，一直想往製程整合，但不得其門而入

→

trigold0703 02/03 13:42寫報告排版的功力真的很弱，配色差、輕重字不會用、

→

trigold0703 02/03 13:42內容在行內很皮毛，這樣要拿去面試只能騙騙外行的

→

OAVAYAVAO 02/03 14:04屎缺

推

lightwang 02/03 14:24可以

推

love913109 02/03 15:56難得認真文,不是一堆整天想害人進產線的無腦留言

推

Toyallol 02/03 19:25推

推

mile022 02/03 19:29樓上某位報告要能深入淺出以簡介而言很ok 這種公

→

mile022 02/03 19:29開網站總不能放一些製程資料FA吧又不是想被到脫

→

mile022 02/03 19:30褲只能說他的架構不錯應該也是待過豬屎屋

推

a590910 02/03 20:34好文

推

canallchen 02/03 20:47還在整合？這工作跟製程一樣操。樓主一生平安。

推

tedchen1025 02/03 21:03整合是半導體職涯不錯的開始...

推

lincecumli 02/03 21:42大推

推

sheepxo 02/03 22:11推

推

Janissary 02/03 23:43推一個

推

sandy9520 02/03 23:45推

推

spectre07 02/04 00:37推

噓

si5111 02/04 02:29PID可以自己先查一下再HL嗎

推

ccworker 02/04 05:21有時候Highlight 不見得是壞事...

→

ccworker 02/04 05:21多年前Highlight 某module 它們做得可起勁了

→

ccworker 02/04 05:22我也順水推舟都讓他去Update進度跟結果

→

ccworker 02/04 05:23(某些機台/module很難得可以搞出有能見度的CIP)

推

antyallen 02/04 08:41推。雖然很粗淺，但版上應該沒幾個人有耐心打出這

→

antyallen 02/04 08:41些文字！謝謝！

推

jiawhat11 02/04 08:53推

推

MrRedHair 02/04 09:58Please 不want再Chinese英mix了

推

rubio123200 02/04 10:27同為整合人推

推

dn91hde38b 02/04 11:25推

推

aocboy 02/04 14:56好專業，非理組的看不懂，但是可以學知識，感恩

推

cory298 02/04 15:40推，謝謝分享

推

fuwai 02/04 20:30上面挑毛病的, 也可以自己分享一篇

推

Armuu 02/04 20:59好文

推

Lindeman556602/04 21:22這就是為啥豬屎屋比較愛收PIE不愛收PE和EE

推

z515026 02/05 01:59你不知道大間整合是帶貨 HL 而已嗎？你不要自己露

→

z515026 02/05 01:59餡在二四線廠的行為齁

→

Lindeman556602/05 02:46帶貨HL優先收PIE沒錯啊? 有邏輯衝突嗎 = =?

推

hungyi309 02/05 11:14詳細給推

推

aegis91086 02/05 14:24推

推

aka8763 02/05 14:25推

推

Satansblessi02/07 01:31推好文

推

a40006 02/07 10:14推

噓

zz740324 02/08 12:55整合不就是lot出問題去co機台誰比例最高就打誰嗎

推

a991235137 02/08 16:54推好文

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