[問卦] 晶圓是怎麼對準光罩的
晶圓在曝光的時候要對準光罩
曝光好幾次就要對準好幾次
要是沒對準不就廢了
我看要對準至少精度要到奈米等級吧
怎麼對準的啊
機器手臂或移動的裝置可以精確到奈米等級嗎?
也太厲害了吧
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.226.64.252 (臺灣)
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推
小精靈
推
※ 編輯: ttucse (36.226.64.252 臺灣), 04/22/2024 22:36:54
用五樓的奈米屌
噓
都幾年了現在才知道?
→
有好幾個對位mark
推
小精靈
推
對岸都用美工刀刻出三奈米 你還在用火
推
自己的功課自己做
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拿鑷子喬角度吧
噓
有Lmark和檢測站看有沒有overlay
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去買幾支尺 你也可以對的很準
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用戰略級的雷射定位基板定位beam
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align mark和BIB overlay...
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這種基板如果要進台灣必須先有美國老爸
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去問優志旺
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同意,要換的申請很麻煩
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曝光機是會曝alignment mark的 曝
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光前還有一大堆參數輸入 大可不必
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擔心 就算沒對準是可以rework的
噓
對位標記...
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樓上的你說的只是靜態定位,畫片中還需
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要動態補償定位
→
動感光波 啊哭胸畢姆
推
以shot數來說一片光罩以數億筆資料計
推
key
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你去當產線三寶中的籤王製程就知道了
→
補正是同時進行的啦 一台這麼貴也不是賣假
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文具店就有賣了..加上WD40 好用
推
靠各種mark和sensor量測來定位的
28
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