[問卦] 晶圓是怎麼對準光罩的

nitvx 04/22 22:35小精靈

solomonABC 04/22 22:35用五樓的奈米屌

potential208 04/22 22:36都幾年了現在才知道？

Carmelo 04/22 22:37有好幾個對位mark

AmigoSin 04/22 22:37小精靈

ampeial 04/22 22:37對岸都用美工刀刻出三奈米 你還在用火

s871413 04/22 22:37自己的功課自己做

AgentSkye56 04/22 22:39拿鑷子喬角度吧

Qoo20811 04/22 22:39有Lmark和檢測站看有沒有overlay

AgentSkye56 04/22 22:40去買幾支尺 你也可以對的很準

Sarvmill 04/22 22:40用戰略級的雷射定位基板定位beam

jumperman 04/22 22:41align mark和BIB overlay...

Sarvmill 04/22 22:41這種基板如果要進台灣必須先有美國老爸

andy70612 04/22 22:41去問優志旺

Sarvmill 04/22 22:41同意，要換的申請很麻煩

MKAngelheart 04/22 22:42曝光機是會曝alignment mark的 曝

MKAngelheart 04/22 22:43光前還有一大堆參數輸入 大可不必

MKAngelheart 04/22 22:43擔心 就算沒對準是可以rework的

ionchips 04/22 22:43對位標記...

Sarvmill 04/22 22:43樓上的你說的只是靜態定位，畫片中還需

Sarvmill 04/22 22:44要動態補償定位

chris44099 04/22 22:46動感光波 啊哭胸畢姆

Sarvmill 04/22 22:47以shot數來說一片光罩以數億筆資料計

NECKS 04/22 22:48key

vapour1001 04/22 22:53你去當產線三寶中的籤王製程就知道了

aippa 04/22 22:53補正是同時進行的啦 一台這麼貴也不是賣假

kickmeout 04/22 23:08文具店就有賣了..加上WD40 好用

qasx 04/23 00:37靠各種mark和sensor量測來定位的