[請益] 半導体 薄膜量測儀器
請問各位做半導体的先進
薄膜製程中，量測厚度的儀器
一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎?
金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎?
國內有那些推薦的廠商?
謝謝幫忙告之!
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KLA…
作業自己做
J.A.Woollam
能力好的，用文具店15公分就太夠了。
我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚
橢偏儀廠商…
我都拿游標卡尺量
橢圓偏振儀 自己功課自己做
金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器
XRR問題就是速度慢，雖然最準確。一般都是橢圓儀加
上機器學習，沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光
譜不知道要幹嘛而已
Semilab
XRR可以量金屬，解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀
可以測厚，也可以量Profile不一定要用machine lear
ning，RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS
METAPULSE 各有適合的應用，甚至電性厚度的量測都
有，看人會不會用。
能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求，才是最重
要的
老經驗的製程調機都用舔的
我都叫廠商幫量
橢偏是高度技術活，除非有人已經幫您弄好recipe了！
不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD
有些用AFM也可以
橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a
不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎?
膜厚妥偏原理還好，但是根據tune dispersion和實際
應用也是需要考慮，包含Test pad設計。模擬軟體如
果主管願意，廠商也會教一些基本功，可以靠著大量
實戰獲得經驗，1D-3D都是。AFM局限性在於表面，速
度，耗材，但是粗糙度和底層有光學需要decouple的
應用則是強項。現在有in-line dFIB但是容易有defec
t需要考驗test pad設計。
我都用目測的
桌上J.A.Woollam，in line SEMILAB
blanket wafer 和立體結構的確不一樣啦～ 平面的確
看顏色就行
魯道夫
橢偏有recipe就真的掃掃完事，全新材料有時不見得這
麽容易！
更不用說SOI上有多層膜，不曉得簡單在那裏？
不過原理加大量實戰是沒錯的！
菲希爾
比較麻煩的是標準片的控管 很容易破又要常常跟原廠
買
dispersion 不容忽視阿
半導本是什麼
曲博之前有跟ITRI的專訪有介紹
作業自己寫，什麼是半導本？
爆
Re: [新聞] 扯！原廠在瑞士竟送中國山東維修 航母殺八卦版風向仔太多， 看看發這邊會不會正常一點= = 送修的那玩意兒不叫經緯儀， 叫雷射追縱儀（laser tracker) 是比經緯儀高級個一百倍的儀器，![Re: [新聞] 扯！原廠在瑞士竟送中國山東維修 航母殺](https://img.youtube.com/vi/TZQ5EbGlo7I/mqdefault.jpg "Re: [新聞] 扯！原廠在瑞士竟送中國山東維修 航母殺")
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Re: [問題] 請問這有機會申訴成功嗎?可以申訴 而且成功機率很大， 首先請國道警察舉證兩三點 1.安全距離是否正確 必須舉證確實在該地點量測間距，因為不能保證每個車道線兼具都相同，使用公正測量儀器 量測該長度是否小於安全距離![Re: [問題] 請問這有機會申訴成功嗎?](https://i.imgur.com/j0xdSDPb.jpg "Re: [問題] 請問這有機會申訴成功嗎?")
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Re: [新聞] 國際半導體組織罕見為中芯發聲 警告特朗貼一下昨天日經的新聞 日本半導体製造装置協会（SEAJ）は17日、8月の日本製半導体製造装置の販売額が前年 同月比17.3%増の1884億円になったと発表した。半導体の国産化を進める中国メーカー の投資がけん引したもよう。中国の半導体受託生産大手、中芯国際集成電路製造（SMIC![Re: [新聞] 國際半導體組織罕見為中芯發聲 警告特朗](https://www.nikkei.com/.resources/k-components/rectangle.rev-d54ea30.png "Re: [新聞] 國際半導體組織罕見為中芯發聲 警告特朗")
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[問卦]有沒有台積電熊本廠要採用在地人材的卦剛剛看到學校的網站 以下原文落落長 擷取重點就是說要開設新的跟半導體相關的課程 主要是因為國際半導體企業進駐熊本 然後開設的課程有一項叫「半導體設備工程學」![[問卦]有沒有台積電熊本廠要採用在地人材的卦](https://i.imgur.com/VTNLplHb.jpg "[問卦]有沒有台積電熊本廠要採用在地人材的卦")
[討論] 請問各位設計工程大大線軌品牌問題請問一下台灣好像日本的都是用THK比較多?請問一下另外一個日本品牌IKO..怎麼在半導体業界比較沒有RD大大採用呢?墾請賜教..謝謝 --
![Re: [討論] 寶寶開獎了?](https://money.udn.com/static/img/moneyudn.jpg "Re: [討論] 寶寶開獎了?")
![[情報] 寶寶開獎了](https://pgw.udn.com.tw/gw/photo.php?u=https://uc.udn.com.tw/photo/2024/05/13/realtime/29653398.jpg&x=0&y=0&sw=0&sh=0&sl=W&fw=1200&exp=3600 "[情報] 寶寶開獎了")