[請益] 半導体 薄膜量測儀器

neil0611 01/07 14:09KLA…

ijk1 01/07 14:41作業自己做

hmtsung 01/07 14:46J.A.Woollam

say33520 01/07 14:55能力好的，用文具店15公分就太夠了。

crayon56 01/07 14:56我都用厚薄規 一層一層去比出膜厚

Saynai 01/07 14:58橢偏儀廠商…

n00bmaster 01/07 15:13我都拿游標卡尺量

matsuzuki18 01/07 15:15橢圓偏振儀 自己功課自己做

ehuman 01/07 15:35金屬:階差量測, 光阻:膜厚量測儀器

kyle5241 01/07 15:44XRR問題就是速度慢，雖然最準確。一般都是橢圓儀加

kyle5241 01/07 15:44上機器學習，沒機器學習基本上你也只是拿到一堆光

kyle5241 01/07 15:44譜不知道要幹嘛而已

cyteric 01/07 15:47Semilab

ssmmll 01/07 17:27XRR可以量金屬，解決可見光穿透深度的問題。橢圓儀

ssmmll 01/07 17:27可以測厚，也可以量Profile不一定要用machine lear

ssmmll 01/07 17:27ning，RCWA計算在很多地方還是很好使用的。XRF XPS

ssmmll 01/07 17:27 METAPULSE 各有適合的應用，甚至電性厚度的量測都

ssmmll 01/07 17:27有，看人會不會用。

ssmmll 01/07 17:29能夠照著儀器的特性去解決使用者的需求，才是最重

ssmmll 01/07 17:29要的

wzmildf 01/07 17:31老經驗的製程調機都用舔的

binco 01/07 18:27我都叫廠商幫量

Aixtron 01/07 19:35橢偏是高度技術活，除非有人已經幫您弄好recipe了！

Aixtron 01/07 19:37不計成本TEM和FIB也可以用啊 XD

Aixtron 01/07 19:38有些用AFM也可以

douge 01/07 20:08橢偏儀了解原理不就簡單到不行嗎-.-a

douge 01/07 20:09不就簡單的條紋 了解需要一個小時嗎?

ssmmll 01/07 20:13膜厚妥偏原理還好，但是根據tune dispersion和實際

ssmmll 01/07 20:13應用也是需要考慮，包含Test pad設計。模擬軟體如

ssmmll 01/07 20:13果主管願意，廠商也會教一些基本功，可以靠著大量

ssmmll 01/07 20:13實戰獲得經驗，1D-3D都是。AFM局限性在於表面，速

ssmmll 01/07 20:13度，耗材，但是粗糙度和底層有光學需要decouple的

ssmmll 01/07 20:13應用則是強項。現在有in-line dFIB但是容易有defec

ssmmll 01/07 20:13t需要考驗test pad設計。

a865201233 01/07 20:55我都用目測的

chengzai 01/07 22:57桌上J.A.Woollam，in line SEMILAB

kyle5241 01/08 06:33blanket wafer 和立體結構的確不一樣啦～ 平面的確

kyle5241 01/08 06:33看顏色就行

jyeabcb 01/08 09:50魯道夫

Aixtron 01/08 11:32橢偏有recipe就真的掃掃完事，全新材料有時不見得這

Aixtron 01/08 11:33麽容易！

Aixtron 01/08 11:37更不用說SOI上有多層膜，不曉得簡單在那裏？

Aixtron 01/08 11:38不過原理加大量實戰是沒錯的！

jim8596 01/08 12:17菲希爾

jim8596 01/08 12:18比較麻煩的是標準片的控管 很容易破又要常常跟原廠

jim8596 01/08 12:18買

ssmmll 01/08 12:42dispersion 不容忽視阿

tornado1621 01/09 08:02半導本是什麼

bocang 01/09 14:06https://www.youtube.com/watch?v=Hod4igTEf30

bocang 01/09 14:07曲博之前有跟ITRI的專訪有介紹

N4urose 01/09 14:21作業自己寫，什麼是半導本？