[請益] 要用iline or gline
求線上專業人員(目前小弟是研究生)
小弟研究背電極 光罩
目的是:在掃描電容顯微術中,背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號
那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上,要用g-line還是I-line? (看了幾份文獻都沒提到)工程師就說問指導老師,指導老師說問工程師
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※ PTT 留言評論
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.217.130.248 (臺灣)
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※ 編輯: mytaiwan (180.217.130.248 臺灣), 10/21/2022 15:55:55
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那你不會試看看?
噓
當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話
推
太難了超出自身專業太多得問內行的
噓
gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎
推
自己去算解析度啊==
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主要看你的pattern和有什麼設備吧
推
看光阻吸收波段吧,不負責回答
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看你的光阻材料啊
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誰知道你線寬多少==
噓
436跟365你比較喜歡哪個數字?
噓
認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降
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你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件
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你也可以寄信去問通訊作者
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用G-line去輪班就知道了
推
用immersion 閉著眼睛曝光就好
推
答案很明顯 是gline
推
Line改這麼多版本了喔,趕快來下載
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9x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊?認真不懂?爽用K
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rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎?
噓
getline
推
看圖案線寬大小決定用那個
噓
作業自己寫啦
推
建議直上GTline,比較超值
推
問就是gline
噓
當然是high NA EUV
噓
G point
→
G
推
顯微鏡手刻即可
推
皆可使用
推
ST line 也不錯 考慮一下
推
gline呀
推
太難了 我只知道highlight
推
哪麼大的線寬,搭配適合的光阻都曝的出來,要先看
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後續的製程需要要什麼樣的光阻吧!
推
Gline 就夠了,殺雞用牛刀
噓
手刻啊! CD那麼大
噓
.…....
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黃光設備工程師歡迎你
推
9mm我都用手刻給你參考
爆
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