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[情報] 挑戰ASML！佳能壓印機NIL可攻2奈米、價

hn9480412 發表於 2024/1/2 上午1:17:20
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hn9480412
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挑戰ASML！佳能壓印機NIL可攻2奈米、價格僅EUV的10％
2023/12/30 06:46


〔編譯魏國金／台北報導〕瑞典媒體Gamingdeputy 27日報導，日本半導體設備巨頭佳能（Canon）十月推出的奈米壓印裝置（NIL）FPA-1200NZ2C不僅可生產2奈米製程晶片，其耗電量與價格皆為對手艾司摩爾（ASML）深紫外光機（EUV）的十分之一，為小型半導體製造商開啟生產先進晶片的新途徑。

佳能半導體機器事業部長岩本和德（Kazunori Iwamoto）指出，奈米壓印是將光罩上的半導體電路圖壓印在晶圓上，只要一次壓印，就能在適當位置形成複雜的2D或3D電路圖，因此只要持續改進光罩，甚至能生產2奈米晶片。

報導說，佳能的奈米壓印技術可生產至少5奈米製程晶片。先進半導體設備市場目前由艾司摩爾主導，佳能的技術將持續縮小與艾司摩爾的差距。

對於設備成本，岩本和德估計，單次壓印的成本可低至傳統曝光設備的一半。佳能執行長御手洗富士夫（Mitarai Fujio）則表示，奈米壓印的產品價格比艾司摩爾的EUV 將減少一位數，亦即前者為後者十分之一。

報導說，有別於以光學圖像投影原理來運作EUV，佳能開發的奈米壓印技術是將電路圖直接印在晶圓上，製造出的晶片據稱擁有可媲美最先進節點的幾何圖形，不過壓印速度較EUV慢。

該新設備預計可讓晶片製造商降低對晶片代工廠的依賴，同時讓台積電、三星電子等晶片代工廠更可能大量生產晶片。佳能表示，該設備需要的功率僅為EUV的十分之一。

佳能之前聚焦於生產普通晶片，2014年起開始大力投資壓印技術，並收購專門開發奈米壓印技術的Molecular Imprints公司。岩本和德說，佳能已收到大量半導體製造商、大學、研究機構的詢問，他們估計該技術可作為EUV的替代裝置，並可為個人電腦與邏輯IC生產快閃記憶體、DRAM等各種半導體。

https://ec.ltn.com.tw/article/breakingnews/4536163

Nikon和Canon以前確實有在製造曝光機啦，但先進製程就變成ASML的天下了

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推 WARgame723 : 故意不換腳位讓你單換cpu出問題最後連板一起換，老08/23 08:13
→ WARgame723 : 實說我覺得intel不換腳位良心多了08/23 08:13
推 SungHyun : 1樓中肯！08/23 08:18
噓 WARgame723 : 打錯，我是要說i皇換腳位08/23 08:39
→ WARgame723 : 而且5nm就能打贏14nm? 我看未必08/23 08:40

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※ PTT留言評論
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smallreader 01/02 01:53壓印NAND真香

推

saimeitetsu 01/02 02:04這主要是產DDR的吧

推

wahaha99 01/02 02:19壓印能到5nm、2nm感覺都是隨他講,

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wahaha99 01/02 02:19這無所謂,比較奇怪的是壓印為什麼

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wahaha99 01/02 02:19還要 1/10 EUV 的耗電?

推

selfhu 01/02 02:52美國拔拔又要氣噗噗的了

推

psgbpsgb 01/02 04:33N/K 現在還是有繼續生產曝光機 只是沒

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psgbpsgb 01/02 04:33用在重要的製程

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Dlareme 01/02 05:29良率跟量產化不知道如何

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hbj1941 01/02 06:09人家要的是良率啊，沒有驗證過的，誰敢

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hbj1941 01/02 06:09用

推

ltytw 01/02 07:13還是習慣光刻

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kisia 01/02 07:14不敢提良率就知道有問題了

推

E6300 01/02 07:31良率大概也是1/10

推

menchian 01/02 07:46這之前有提過呀，壓印因為是接觸式，轉

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menchian 01/02 07:46印板損耗高，合算起來成本沒太多優勢，

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menchian 01/02 07:46跟該公司印表機同一概念

推

IKnowWhy 01/02 07:54問題是誰敢當白老鼠啊

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hbj1941 01/02 08:15艾斯摩爾是跟台積電高度技術綁定，台積

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hbj1941 01/02 08:15電生產上的資訊會反饋回去作為下一代機

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hbj1941 01/02 08:15台的設計

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GeneFox 01/02 08:37壓印能不能做GAA也沒說，生產效能跟良率

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GeneFox 01/02 08:37也模糊不清，驗證完正式生產大概也就比

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GeneFox 01/02 08:38傳統的便宜2成吧，可以當小規模的替代方

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GeneFox 01/02 08:38案

推

gn00152097 01/02 08:48甚至？那就是根本還沒辦法

推

tony1768 01/02 09:10甚至？ 後面自己想辦法？

推

ATand 01/02 09:22做為驗證或是工程用的應該還可以吧

推

Nitricacid 01/02 09:41我ok你先用

推

saimeitetsu 01/02 10:13然後先不說良率，這產能就很低了

推

amos30627 01/02 10:42中國會買

推

cevs 01/02 11:08好猛 以為只有做相機

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SaberMyWifi 01/02 11:18價格1/10，耐用度也是1/10

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yinaser 01/02 11:46技術預估2025商用這主要是跟鎧俠合作

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ma721 01/02 11:48沒用產太慢

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ma721 01/02 11:49想一下印表機的速度就知道

推

dinosd2 01/02 11:50產能比ASML慢是確定了，良率還輸就下去吧

推

zzro 01/02 12:25印刷大國 什麼都用印的

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syearth 01/02 12:48日本廠商也會遵守美國禁令吧

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Chilloutt 01/02 13:14吹很久了

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meowgy 01/02 13:36壓印光罩與晶圓上的比例是1:1?,那光罩慢

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meowgy 01/02 13:36慢等吧

推

aegis43210 01/02 13:37i皇仍在使用nikon的曝光機呀，這個目

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aegis43210 01/02 13:37標是吃記憶體市場，畢竟未來都是堆幾

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aegis43210 01/02 13:37百層，用印的比較便利

推

Hazelburn 01/02 14:32尼康在圈內的評價好像不是很好

推

gameguy 01/02 15:29Canon印表機是加熱氣泡再噴出的吧，不是

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gameguy 01/02 15:29靜電式的那種印表機。我印故我在？

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jior 01/02 20:39佳能重返戰場！？

推

Qpera 01/02 23:57打樣用印的不錯

推

wind183 01/03 00:32管它啥技術有良率高又便宜的產品讓我們

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wind183 01/03 00:32消費者買就好(・∀・)

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RONC 01/03 03:28真有這麼神大概就要廣場協議2.0了

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