Re: [請益] 日本一直把持光阻劑市場？

sc1 12/07 12:38做晶圓代工有產業升級條例晶片法政策補貼 光阻液無

sc1 12/07 12:38日系都是Vendor代理;理工科系進產線三寶是大宗

abyssa1 12/07 12:59https://fnc.ebc.net.tw/fncnews/business/77855

abyssa1 12/07 12:59這個事件應該會讓後進者門檻又拉高

cityhunter0412/07 13:03別那麼認真回廢文好嘛

magamanzero 12/07 13:09認真的話 上次GG有個材料發生問題的事件 可以看看

magamanzero 12/07 13:09那會影響良率很嚴重的

odahawk 12/07 13:36主管一句話「換了之後出問題誰負責」就不會有人試了

daredwolf 12/07 13:36推拉

faniour 12/07 13:41開頭的邏輯，跟EUV就是比較短波的光，沒什麼困難的

faniour 12/07 13:41概念有什麼兩樣

faniour 12/07 13:43根本也不用什麼ML, 你要有評估機台的話平常做的DOE

faniour 12/07 13:43就夠了

faniour 12/07 13:52原料純是一回事，做成高分子是另一件事。分子量中

faniour 12/07 13:52心值、分子量分布要做到幾個標準差內，能穩定的做

faniour 12/07 13:52到多窄，配方的生產準度有多高，還有無塵室有多潔淨

faniour 12/07 13:52通通影響最後產出。做出來了誰要陪練？有實績線上也

faniour 12/07 13:52不一定敢換，沒實績的那根本是鬧笑話。

ISNAKEI 12/07 14:04概念很簡單 做很難 聚合過程要保持均勻就很難了

sc1 12/07 14:35要做進口替代也是當局出來當召集人再加稅排擠進口

wtl 12/07 14:53其實EDA也一樣 軟體做出來半導體廠不跟你合作認證也

wtl 12/07 14:54沒用 想當半導體供應商也沒那麼簡單

victor21835 12/07 15:59專業

faniour 12/07 18:27不同製程光阻需要的感度跟穿透深度，跟舊世代的光

faniour 12/07 18:27阻差異又不是一點點，不是能反應就還行，深寬比、耐

faniour 12/07 18:27蝕、模數、直線或挖孔的特性也差蠻多的，這樣子能

faniour 12/07 18:27當差不多的話，那5或3奈米製程跟22奈米也是差不多

faniour 12/07 18:27的概念啊，不同的那一點點就是量產跟嘴炮的差別。

AxerBlizzard12/07 18:52光阻的光化學雖然是照光交聯，但其實其背後光化學

AxerBlizzard12/07 18:52很複雜，光一個OXE-01的光反應文獻都尚未有定論，

AxerBlizzard12/07 18:52其材料背後know how不只在有機合成而已。

faniour 12/07 19:51OXE-01都幾年了哪裡還不知道

faniour 12/07 19:52一路出到04、05都有了，原廠還被陸廠巴假的

faniour 12/07 19:54專利沒寫好被找洞就算了，後來還被超越

faniour 12/07 20:12oxime ester type後來的專利申請數非常多，變來變去

faniour 12/07 20:12大致上就是調整吸收頻譜，調整側鏈去配合溶解性與遷

faniour 12/07 20:12移問題，改感度，改善厚膜表現，或是強化表面光交聯

faniour 12/07 20:12。但是這是負型光阻的材料，正型用的光酸熱酸還有

faniour 12/07 20:12酸放大劑又是另一個世界

neil0611 12/07 20:38最後一點最重要，GG不幫測就真的沒用了

faniour 12/07 20:43這些特化用品台灣不一定不能做，光引發劑就有本土

faniour 12/07 20:43供應商，但光是靠本土的市場要熬到能開始外銷就很

faniour 12/07 20:43難。台商懂得要拿哪些原料來搭配的公司，多半具有

faniour 12/07 20:43生產或是根本就只是不做而已，你是小供應商會不會

faniour 12/07 20:43怕怕的幹脆不賣或是市場評估完就不玩了。而且越下

faniour 12/07 20:43游水又深又冰，給你做出光阻好了，費了各種人脈各

faniour 12/07 20:43種資源，砸了一堆錢後，終於通過驗證，價格開他一

faniour 12/07 20:43公斤數十萬好了，幾噸幾噸賣淨利能不能賺個幾十億？

faniour 12/07 20:43半導體產線一次MO歸咎到材料的問題，賠償責任是幾十

faniour 12/07 20:43億到百億，新進廠商口袋要有多深，性格要有多扭曲才

faniour 12/07 20:43要玩這種生意？

faniour 12/07 20:44對啊，做出來還沒辦法自己測到底怎麼知道做的好不好

faniour 12/07 20:44？GG肯測也不會無限制的共享測到的結果，很多使用上

faniour 12/07 20:44的問題沒機台根本沒有再現的可能，那要怎麼改？

Alone111 12/07 21:54默克不是也有做光阻？

AxerBlizzard12/07 22:19OXE-01雖然出來很多年了，但在照光時的光化學反應

AxerBlizzard12/07 22:19機制一直到去年底都還有新研究論文發表。

faniour 12/07 22:41如果有人發表新模型補充過去不足之處，這樣要算得上

faniour 12/07 22:41沒有定論等等，那irgacure-907這種老掉牙的東西，前

faniour 12/07 22:41幾年有人也發了一些計算的內容，不就也要說過去一

faniour 12/07 22:41樣沒有定論？這些東西如果還雲裡霧裡的，就不會有

faniour 12/07 22:41陸廠整系列的產品一隻一隻出來。甚至有開發商的專利

faniour 12/07 22:41直接講明用什麼計算模型去跑，鍵長應該落在哪個範

faniour 12/07 22:41圍比較適合。除了直接預測QY或自由基壽命這種需求，

faniour 12/07 22:41大部分情況沒那麼多不確定的地方

AxerBlizzard12/07 23:05新的文獻並不是補足不足的部分，而是提出與先前認

AxerBlizzard12/07 23:05為的躍遷機制所預測的路徑有不同的實驗結果，雖然

AxerBlizzard12/07 23:05這些機制對於大多數情況並不會有很大的影響，但一

AxerBlizzard12/07 23:05些文獻有提到這些機制的差異可能會影響到細微結構

AxerBlizzard12/07 23:05的CD跟LER

AxerBlizzard12/07 23:08半導體化學品不光專利佈局的問題而已，沒有在專利

AxerBlizzard12/07 23:08上的know how 也不少，本土廠商即便追上了能不能進

AxerBlizzard12/07 23:08廠驗證還是另一個問題

faniour 12/07 23:14驗證一直以來都是關鍵

faniour 12/07 23:17你講的文獻方便給DOI或關鍵字嗎？沒有也沒關係，就

faniour 12/07 23:17加減看看，現在不搞這個了

faniour 12/07 23:21以光阻類的東西來說，敢寫出來的多半都不怕抄，你

faniour 12/07 23:21覺得他逆向工程超強呢還是沒寫的小東西才是真正重點

faniour 12/07 23:21呢？這種陰人的細節，靠經驗的know how很多吧

sc1 12/08 13:22叫教授去研發替代品 讓學生去上班工作生活平衡啊

sc1 12/08 13:23讓政府撥預算補貼研發光阻劑研磨劑