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[請益] 何謂 MEMS PIQ release

看板Tech_Job標題[請益] 何謂 MEMS PIQ release作者
mark183
(mark)
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請問因為最近要做簡報,看到MEMS PIQ release,一直查不到這到底是什麼意思,我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麼,中英文的全名叫什麼呢?算製程嗎?跟各位前輩請益,謝謝!

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XoPXoP 06/25 15:39good

YJM1106 06/25 15:46TBH,IDK

newfolder 06/25 15:49LMAO

wellkom 06/25 15:50RTFD

Shellingford06/25 15:51請拿去餵狗就知道了

wellkom 06/25 15:51已幫你轉寄給HR,他們會編入下一版新人 survival kit

jackie0825 06/25 16:14STFU

h7705060 06/25 16:23通常MEMS都有一些空腔結構在製作過程中會用PIQ當作

h7705060 06/25 16:23結構支撐但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS結構這

h7705060 06/25 16:23個步驟就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch

mark183 06/25 16:41謝謝h7705060大大!