[請益] 何謂 MEMS PIQ release
請問因為最近要做簡報,看到MEMS PIQ release,一直查不到這到底是什麼意思,我知道DRIE,但MEMS PIQ release不知道是什麼,中英文的全名叫什麼呢?算製程嗎?跟各位前輩請益,謝謝!
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RTFD
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請拿去餵狗就知道了
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已幫你轉寄給HR,他們會編入下一版新人 survival kit
推
STFU
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通常MEMS都有一些空腔結構在製作過程中會用PIQ當作
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結構支撐但是你做完了要把PIQ吃掉只保留MEMS結構這
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個步驟就叫做PIQ release 通常用wet or dry etch
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謝謝h7705060大大!
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