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Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！

analiya 發表於 2023/9/16 下午2:11:00
看板Gossiping標題Re: [爆卦] 中國清大EUV大突破？？！！作者
analiya
 (莉雅)時間推噓21 推:34 噓:13 →:53

自媒體誇大了，但也不是完全沒有那麽回事。

分享下。

1、中國的光刻機研製，現在是duv、euv同時在弄。duv肯定是傳統路綫，應該差不多了。而euv是不同的3、4種技術路綫在同時弄，每條路綫都有不同的科研院所負責。

中科院長春光研所負責asml的那種euv。

2、光學、精細化工之類的，其實中國自身并不差。主要以前沒有不計成本也要弄出來的動機，弄出來了也沒人會用。但現在因爲美國制裁，中國的半導體產業的市場完全被美國主動讓出來了，那造出來自然就有意義，能夠迭代。

現在看，光源、光刻膠之類的都已經有中國企業弄出來了，還在最後的總裝過程中。

3、至於這個清華的版本，是腦洞最大的一個，現在已經進行實際預研建設了。

簡單説就是放棄小型化、集約化，從而換取技術上難度的下降。

asml的光刻機，在一個集裝箱中，有光源、有各種光學鏡片、有各種防氣體污染的管路。之所以這個技術路綫，一是因爲asml的技術路徑依賴，二是因爲光刻機是商品，必須滿足遠洋運輸、後期調試的需求。

清華的版本，是儅基礎設施弄，光源不在内置，而是如發電廠集中供電、中央鍋爐集中供熱水一樣，用同步輻射光源做發光厰集中供應光。

因爲同步輻射光源的特性，功率可以做到asml的euv的幾十倍，而且是廣譜光。通過電磁場的不斷偏轉，不同波長的光會從不同的接口被篩選出來，也就是理論上從1nm到100nm的光源同時供應。

根據功率、光源波長等，一個光源厰能同時供應幾十個光刻厰，效率和電能利用率會很高，哪怕單個厰的良率沒那麽高，成本也能平攤下來。

另外因爲沒有空間限制，可以省掉各种复杂的光路和精度极高的镜片组，直接来上千W的8nm波长。
EUV的三大难点：光源、物镜和工作台，直接跳过前俩，只要保证双工作台的精度就行。

以前其實就有這種路綫，但因爲占地大、成本高、同時用電大三個問題，并不是asml這種企業的選擇項。

但對於中國，這些缺點并不是問題，只要能造出來就可以。

占地大，中國就是地多，也不需要儅商品運輸，而且輻射光源有其他用處，可以一魚多吃。

成本高，對於現在一臺幾臺幾億美金來説，其實也不高了，而且可以同時大量起光刻厰，中國佔半導體產業50%的需求量，只要能造出來就有市場。

用電大，中國自己發電就占全世界的30%，而且内蒙、貴州這些地方電多到用不出去。綜合去算幾十個光刻厰同時運作，其實能耗和asml的光刻機差不多了。


只不過，現在是理論上很完美，也是中國諸多技術中的一種。但實際工程化卻不一定能很快弄出來。現在最快的的還是傳統路綫。

但asml總裁之前説中國有很多聰明人，能想出不一樣的路綫，也是意有所指。


--

※ PTT 留言評論
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 111.162.145.209 (中國)
※ PTT 網址
噓

WindSucker 09/16 14:13中或贏

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railman 09/16 14:13傳統路線是手刻嗎？

→

potionx 09/16 14:13先把公務員的欠薪補上再說吧 哀

→

thepowers 09/16 14:13八成對岸粉紅洗地，內文有簡體呢

→

andytaso 09/16 14:14並 不過搞久了應該還4能搞些皮毛出來

推

hermanwing 09/16 14:14感謝詳細解說

推

democrat 09/16 14:16大躍進時代的土法煉鋼

推

squelch 09/16 14:17美國看到又要各種制裁了

推

Marcin 09/16 14:17中國彎道超車

推

BaGaJohn5566 09/16 14:17荷蘭肯定之後會跪下來求中國

推

arm370x 09/16 14:18光學精細化工之類的，其實中國並不差??

是的。 比如，很多非綫性光學晶體啊，光學衛星之類的，中國的技術應該是只差過美國。而整體光 學，也只差過美日德。差距沒有那麽大。 而之前韓國被日本斷供光刻膠和各種精細化工產品，替代品就是中國的光刻膠和其他經濟化 工產品。 中國的光刻膠，可能純度還沒有日本高，但也是能用。7nm、5nm應該沒問題。但再往上可能 就會受純度影響了。 只要開始工程化、產業化使用，迭代升級的速度遠比鄉民想得要快。

推

kazami 09/16 14:18中國雙贏

噓

beviswu 09/16 14:18看到「光刻」兩字先噓再說

→

arm370x 09/16 14:19主要是德國日本人有送禮包吧 尤其德國

推

s213092921 09/16 14:19中國聰明人多，工業基礎設施電力也發

→

s213092921 09/16 14:19達

→

arm370x 09/16 14:19真的歐洲裡最挺中國的 整艘船不收錢的

噓

zz71 09/16 14:20這篇我存檔了 不意外3年後樓上某些ID還在吹

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zz71 09/16 14:20中國遙遙領先

→

arm370x 09/16 14:20要不要先查一下再來秤中國還有多少斤兩

→

alway70345 09/16 14:21中國贏

推

ballby 09/16 14:24用不同的方式，達到一樣的效果

※ 編輯: analiya (111.162.145.209 中國), 09/16/2023 14:24:47
推

s213092921 09/16 14:25幾年前也是一堆人說華為完蛋了，現在

→

s213092921 09/16 14:25？

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cmc563 09/16 14:25中國真勵害,可以不計成本,遙遙領先

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amos30627 09/16 14:26最後會發現光刻廠卡脖子技術沒比較少

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bearq258 09/16 14:261-10nm波長就定義在x光

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amos30627 09/16 14:26德國人是真的輸不少血給中國

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yesonline 09/16 14:27https://bit.ly/3ZrXN3J 原理驗證
→

MKIIjack 09/16 14:28好的 請空襲美航母

噓

blue999 09/16 14:28好啦 中或贏 中國no1 中國no1

推

yoshilin 09/16 14:32一堆酸民是沒看過龜兔賽跑的故事嗎？

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yoshilin 09/16 14:33大烏龜雖然慢，但是一步可以跨1km，小

→

yoshilin 09/16 14:33兔子要跳多久

→

potionx 09/16 14:35原來中國是烏龜 那烏龜的頭肯定是習近平

推

amy93 09/16 14:42專業文

→

lain2002 09/16 14:46中國又贏了

推

hermanwing 09/16 14:47華為真的突破美國封鎖了

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hermanwing 09/16 14:47本來還以為跟法國一樣，結果孟晚舟後

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hermanwing 09/16 14:48面有祖國跟14億人民支持

推

lanslore 09/16 14:48謝謝分享
→

hermanwing 09/16 14:48這次中國人無比團結用國貨

推

sparking 09/16 14:50好文推

推

k1k1832002 09/16 14:56其實就封鎖了,以前高成本選項現在怎樣

→

k1k1832002 09/16 14:56也得用,但如果打出新路徑,只能說那沒

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k1k1832002 09/16 14:56辦法,美國搞得

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tenka92417 09/16 15:02只要阿共弄得出可以用的設備零件跟維

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tenka92417 09/16 15:02修能力，就不需要用西方最先進的設備

推

bbalabababa 09/16 15:05中企都是國家不演直接輸血的

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bbalabababa 09/16 15:05最近歐盟已經開始注意電動車了

推

chrisjohn214 09/16 15:06好文給推

→

wiie 09/16 15:09這做法讓我聯想到幾年前的組合屋模式

→

wiie 09/16 15:10量化到一定程度攤低成本,就能夠開始外銷

推

ilovebig99 09/16 15:11看來真的會做起來耶，光的問題克服只

→

ilovebig99 09/16 15:11是時間的問題

→

loko 09/16 15:12這不是聰明人多不多的問題 是技術力差距的問

→

loko 09/16 15:12題 這文章根本亂寫一通 也可以來這洗地...

噓

gigongwen 09/16 15:20喇低賽哀低也有人推 沒救了

噓

suge 09/16 15:21這篇不就全民大煉鋼嗎

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deangogi 09/16 15:25非線性哪有比美國差

→

Jetame 09/16 15:28當八卦是微博？ 還真的是

噓

k0122k 09/16 15:29根本北七

推

anylu 09/16 15:36華為不是手刻9000s出來了，接下來

→

anylu 09/16 15:36手刻3奈米不意外。

推

firecrest 09/16 15:40中又贏

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SnakeO 09/16 15:43所以就不是新技術吧,只是地大直接用同步

→

SnakeO 09/16 15:43輻射當光源,全世界也只有中國政府能提供這

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SnakeO 09/16 15:44種大場地給廠商去做

→

SnakeO 09/16 15:44超英趕美的不是技術本身,而是中國模式

噓

SUBE 09/16 15:50等著看實際晶片品質，事實証明一切

→

SUBE 09/16 15:51這種文，就是自吹自擂而已
噓

kayak5566 09/16 15:53良率咧 不計成本有夠白爛的說法

→

JoyRex 09/16 15:58做不起CD隨身聽直接做和房子一樣大的音響

推

loloman 09/16 16:04感謝解釋!

→

loloman 09/16 16:05期待看到ASML光刻機大幅降價

推

darkbishop 09/16 16:07中國科研技術一直在進步 台灣也是 但

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darkbishop 09/16 16:07都有垃圾政府拖後腿 可憐啊

→

TaiwanFight 09/16 16:09待灣郎就以為動動嘴就行了

→

TaiwanFight 09/16 16:10當"專家"也都只靠嘴時 就沒救了

→

cdcardabc 09/16 16:14中又贏了ㄏ

推

octopuz 09/16 16:59感謝說明

推

andy199113 09/16 17:04大陸人安安

噓

hanmas 09/16 17:06你要把晶片場蓋去內蒙古歐 XD

推

lesbian5566T 09/16 17:53沒有辦法的辦法吧,只能多花幾倍錢

推

jasonwalk 09/16 17:55asml當初就是搞出和主流路線不一樣又更

→

jasonwalk 09/16 17:55強的東西才脫穎而出

推

billionaire 09/16 17:57該制裁了

推

greecat 09/16 18:18小粉紅都高潮了

推

zephyr105 09/16 19:16拿石頭砸腳 笑死

噓

LiNcUtT 09/16 20:06作夢

推

ian41360 09/16 20:07靠北 從同步輻射中心取3nm的波長就是了

推

ntuwalker 09/16 21:37推這篇，皇民崩潰

推

rogergon 09/16 22:08這我大概懂，就土法曝光嘛！

噓

konichiwaman 09/16 22:13不是這行的 別亂評價

→

sun0268 09/16 23:06台大支那狗 馬上就扯皇民了

→

sun0268 09/16 23:06一個在股版被電成豬頭的咖 台大走路人舔

→

sun0268 09/16 23:06的還真大力

噓

misa0527 09/17 09:00一堆簡字

推

AruBan 09/17 10:08一票酸民真是為反中而反 人家有解方也是

→

AruBan 09/17 10:08牠本事
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