Re: [新聞] ASML強敵來了！陸「EUV關鍵技術」大突破

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大陸清大那個團隊不是第一個想到這玩法的 這想法很久以前就有人想過 例如國科會底下的未來科技館 技術簡介

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你沒看明白，所以我再解釋一下。 1、清華的這個方案，因爲使用 同步輻射光源+電磁場偏轉，所以直接能得到各種波長的高 功率光源，不需要asml技術的大量透鏡組合。 所以你説的別墅大小的鏡片，本來就是不存在的。 另外，因爲減少了鏡片折射之間的能量損耗，所以功率本身就在asml幾十倍的同步輻射光源

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ASML設立首個EUV海外培訓中心：就近輔導台積電打磨先進製程 Ted_chuang Ted_chuang · 2020-08-17 據媒體報導，光刻機龍頭ASML（艾司摩爾）日前宣布，將在台灣的南部科學園區建立自己 在海外（荷蘭之外）的首個培訓中心，旨在就近輔導台積電所領導EUV光刻製造集群。 所謂EUV即極紫外光刻，目前全球有且只有ASML可以生產相關機器。光刻是半導體晶片製

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我以前曾在twitter看過一篇大神的文章分析過，由於我不是專業，有錯請指正 中國不是搞不出極紫外光，他們能能夠建造出同步輻射中心(台灣也有)，同步輻射光源拿 來當EUV是綽綽有餘 不過同輻一座大概一個足球場大小，EUV一台大概一輛雙層巴士大小，這也是ASML最厲害 地方，它不是強在發明出光刻機，而是把光源技術用有效益、能商業化的方式做出來

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EUV這個東西肯定不是一兩年能做出來的。 不過還好，大陸做這個也不是一兩年了。 根據公開信息看，十幾年前就開始了EUV光源 等子系統研發了，而且是至少三種可能得技術 路線同時在多個研究所進行研究。公開資料里