Re: [新聞] 力拚ASML！佳能開賣晶片製造新設備

※ 引述《xc2v (xc2v)》之銘言：
: 原文標題：
: 力拚ASML！佳能開賣晶片製造新設備
: 〔財經頻道／綜合報導〕日本佳能公司已開始銷售奈米壓印（Nanoimprint lithography: ）半導體製造系統設備，試圖與業界領導者荷商ASML和日商Nikon競爭，搶佔半導體製造: 工具市佔率。
: 佳能新型晶片製造機可以使用極紫外微影 （EUV） 生產相當於5奈米規模的電路，EUV由: 行業領導者ASML主導。佳能在周五（13日）的聲明中表示，預計其設備將透過改進達到下: 一代 2nm生產。與國內同行Nikon一樣，佳能在EUV競賽中遠遠落後ASML，但其奈米壓印方: 法可能有助其縮小差距。

一般設備的開發，從樣機到正式量產，需要很長的時間。所以來追一下目前這個奈米壓印裝置(NIL)的文章，分享一點自己的看法，給大家來批判。

由於半導體設備的特殊性和晶片結構複雜、涉及的製造流程較多，因此在導入晶圓廠的過程中需不斷驗證軟硬體設計方案的可行性 [6]。大致上有以下流程：

1. 裝機：到工廠內連接水、電、氣的系統，確保機台裝配完成，可以正常啟動
2. 單機可靠性測試：軟體、硬體、機械手臂測試。在不接反應氣體的情況下跑個上千片 不發任何的警報
3. 工藝測試：根據目標工藝，接上反應氣體，並調整參數，確認可以跑出正確的結果； 然後，連續跑個上千片，確認機台的穩定性
4. 小批量生產：把該機台導入晶片生產的流程，確保可以跑完整個晶片生產的流程，並 達到目標良率
5. 大批量產

根據不同的機台，以上步驟可能不盡相同；每個步驟可能都需要花上數個月，所以跑完全部的步驟可能需花上12到15個月，甚至更久。

半導體設備的開發往往要與客戶緊密的合作，比方說當年ASML開發時，台積電、三星、
Intel就有共同參與研發 [7]；所以佳能的NIL也是一樣，在一開始鎧俠就有參與共同研發。目前，鎧俠已將其應用到了15nm的NAND快閃記憶體的製造上，並表示到2025年應該可以應用到5nm的晶片製造上。[1]

除了鎧俠以外，NIL也賣給了TIE
TIE是由德州大學奧斯汀分校支援成立的半導體聯盟，由德州當地政府、半導體企業、國立研究所等所組成，而TIE將使用NIL微影設備研發、試產先進半導體。

根據日經新聞報導，Canon光學設備事業本部副本部長岩本和德26日受訪表示，「目標在3-5年內、每年賣出十幾台」[2]。我們可以對照ASML剛推出EUV的前5年，分別賣出了1台、1台、5台、1台、4台；這表示新型的機台在問世的前幾年，不要期待它可以成為營收的主力。

在2023年的5月，有朝鮮日報報導[4]，SK海力士引進NIL生產設備，正在進行測試與研發，目標在2025年用來生產3D NAND快閃記憶體。但也有看到在2023年的6月，DigitalTimes報導，SK海力士否認2025將NIL用於3D NAND量產。[5]

我個人的猜測NIL也許是達到 `3.工藝測試` 或 `4.小批量生產` 的階段，但可能還沒有辦法在2025年就用於3D NAND的量產。

NIL不是用來取代EUV
NIL的優點是可減少工序以及降低耗電量。但只適合用在結構簡單、且重複性較高的記憶體製造上面，特別是20nm以下的先進製程，目前的曝光方案成本太高。因此，對於下一
代 3D NAND 記憶體，NIL是非常有競爭力的成本效益選擇[1] 。佳能首先計劃將奈米壓印推廣到3D NAND市場，然後分階段將應用範圍擴大到DRAM、邏輯半導體等需要更高精細加工精度的市場。[8]

是否可以銷往中國
目前佳能並沒有對外發表這方面的消息。這可能取決於美中科技戰雙方的博弈。目前網路上的資訊眾說紛紜，有一種看法是認為，川普會推翻拜登時期所制定的政策，所以NIL可以銷往中國；但也有另一種看法就是，川普確實會推翻大多數拜登時期所制定的政策，在科技戰方面，川普會延續拜登政府的政策，所以NIL不能銷往中國。

網上還另一個角度的看法，就要看NIL用到美國技術的比例，從目前取得的資訊來看，NIL是由佳能、大日本印刷(DNP)、鎧俠共同研發，所以也許不受美國半導體禁令的影響。

Reference
[1] https://www.usmart.hk/en/news-detail/6859068305420976250
[2] https://reurl.cc/V0Wv6n
[3] https://news.qq.com/rain/a/20231015A04QAA00
[4]
https://www.chosunonline.com/site/data/html_dir/2023/05/05/2023050580017.html

[5] https://reurl.cc/74Vvy9
[6] https://www.sohu.com/a/802682193_120498874
[7] https://www.163.com/dy/article/JJSHFMTH05118O92.html
[8] https://reurl.cc/V0WvXn
[9] https://biglegsrabbit.blogspot.com/2025/01/nil.html

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